物理氣相沉積(PVD)描述了各種真空沉積方法，通過將所需的薄膜材料的蒸發(fā)形式冷凝到各種工件表面(例如半導(dǎo)體晶圓片)來沉積薄膜。

　　PVD鍍膜和PVD鍍膜機(jī)

　　PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術(shù)主要分為三類，真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜。 對(duì)應(yīng)于PVD技術(shù)的三個(gè)分類，相應(yīng)的真空鍍膜設(shè)備也就有真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空濺射鍍膜機(jī) 和真空離子鍍膜機(jī)這三種。

　　近十多年來，真空離子鍍膜技術(shù)的發(fā)展是很快的，它已經(jīng)成為當(dāng)今比較先進(jìn)的表面處理方式之 一。我們通常所說的PVD鍍膜，指的就是真空離子鍍膜;通常所說的PVD鍍膜機(jī)，指的也就 是真空離子鍍膜機(jī)。

　　PVD鍍膜技術(shù)的原理

　　PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)，其具體原理是在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電 技術(shù)，利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場的加速作用， 使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。

　　優(yōu)勢

　　PVD涂層有時(shí)比電鍍工藝應(yīng)用的涂層更硬，更耐腐蝕。大多數(shù)涂層具有高溫和良好的沖擊強(qiáng)度，優(yōu)異的耐磨性和耐久性，所以幾乎不需要保護(hù)層。

　　能夠利用幾乎任何類型的無機(jī)和一些有機(jī)涂層材料，在同樣不同的基底和表面使用各種各樣的飾面。

　　比電鍍、噴漆等傳統(tǒng)涂裝工藝更環(huán)保。

　　可以使用一種以上的技術(shù)來沉積給定的薄膜。